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試薬であるヘキサメチルジシラン(Si2(CH3)6)は、有機溶媒に溶ける無色の液体であるため、有機合成で一般的にシリコン源として用いられます。
シリコンウェハを保護するために、さらに加工する前に表面をヘキサメチルジシランと反応させます。
ヘキサメチルジシランで処理されたシリカ表面は、未処理の試料と比較して著しく親水性が低下していた。
観察前に、シリカ表面はヘキサメチルジシラザンで処理され、疎水性が向上した。
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