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技術者は、半導体ウェハのマイクロンより小さい単位を測定するために顕微鏡を調整した。
研究者たちはクリーンルームの気流からナノ粒子を除去するために、マイクロメートル未満のフィルターを開発した。
研究チームは電子顕微鏡を用いて新しいコーティング中の1ミクロン未満の粒子を観察した。
そのろ過システムは1マイクロメートル未満の微粒子のような空気中の汚染物質を除去し、研究者がより安全に呼吸できる環境を確保しました。
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