最終更新日:2025/11/23
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元となった辞書の項目

MOALD

名詞
略語 頭字語 別表記 不可算名詞
日本語の意味
金属有機原子層堆積(MOALD)は、金属有機化合物を用いた原子層堆積法であり、原子レベルで層ごとに精密に制御された自己制限的な堆積プロセスを指します。これは、次世代のマイクロエレクトロニクスやナノテクノロジーの分野で、High-k誘電体層、金属およびメタルゲート電極の成長に利用される技術です。
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複雑な3次元形状への均一な被覆を実現するため、技術者たちは金属有機原子層堆積という、原子レベルで自己制限的に層状堆積を行うプロセスを採用して、次世代デバイス向けに高誘電率膜や金属、金属ゲート電極を成長させた。

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