optical flat
(optics) A disk of high-quality quartz glass having at least one side ground and polished with a deviation in flatness less than 50 nanometers all over, and a surface quality of 5 microfinish or less; used, in an interferometer, to measure the flatness of other surfaces.
（光学計測用具として用いられる）高品質な石英ガラスの円盤で、少なくとも一面が研削・研磨され、全体の平面性のばらつきが50ナノメートル未満、表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下となっており、干渉計を用いて他の表面の平坦度を測定するために使用される。
（ plural ）
復習用の問題
(optics) A disk of high-quality quartz glass having at least one side ground and polished with a deviation in flatness less than 50 nanometers all over, and a surface quality of 5 microfinish or less; used, in an interferometer, to measure the flatness of other surfaces.
optical flat
The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.
The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.
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