English Dictionary

optical flat

名詞

(optics) A disk of high-quality quartz glass having at least one side ground and polished with a deviation in flatness less than 50 nanometers all over, and a surface quality of 5 microfinish or less; used, in an interferometer, to measure the flatness of other surfaces.

日本語の意味

（光学計測用具として用いられる）高品質な石英ガラスの円盤で、少なくとも一面が研削・研磨され、全体の平面性のばらつきが50ナノメートル未満、表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下となっており、干渉計を用いて他の表面の平坦度を測定するために使用される。

The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.

技術者は、ウエハの表面の凹凸を調べるために、少なくとも片面が研磨され、全体の平坦度の偏差が50ナノメートル未満で表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下の高品質な石英ガラスの円盤を干渉計のステージに置いた。

意味（1）

(optics) A disk of high-quality quartz glass having at least one side ground and polished with a deviation in flatness less than 50 nanometers all over, and a surface quality of 5 microfinish or less; used, in an interferometer, to measure the flatness of other surfaces.

optical flats （ plural ）