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研究チームは、部品が1μm〜100μmの微小サイズで構成され、全体が0.02mm〜1mmのミリメートルサイズに収まる微小電気機械システムを医療用インプラントに組み込み、微小スケールで圧力を監視しました。
研究者たちは、環境変化をリアルタイムで監視できる微小電気機械システムを開発しています。
微小電気機械システムの研究者たちは、指先に収まるほど小さな新しい加速度計を開発しました。
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