English Dictionary

cyclopentadienyl-propylcyclopentadienylruthenium

名詞

不可算名詞

(chemistry) A sandwich compound chemical containing ruthenium sandwiched between a cyclopentadienyl group, and a cyclopentadienyl group with a propyl side chain. used in chemical vapour deposition.

日本語の意味

ルテニウムが挟まれたサンドイッチ型化合物。1つのシクロペンタジエニル基と、プロピル側鎖を持つもう1つのシクロペンタジエニル基により構成され、化学気相析出（CVD）に使用される。

The chemical vapour deposition precursor cyclopentadienyl-propylcyclopentadienylruthenium produced uniform thin films on the silicon wafer.

化学気相成長の前駆体である、シクロペンタジエニル基とプロピル置換シクロペンタジエニル基に挟まれたルテニウムのサンドイッチ化合物は、シリコンウエハ上に均一な薄膜を形成した。

意味（1）

(chemistry) A sandwich compound chemical containing ruthenium sandwiched between a cyclopentadienyl group, and a cyclopentadienyl group with a propyl side chain. used in chemical vapour deposition.