最終更新日:2025/12/04

cyclopentadienyl-propylcyclopentadienylruthenium

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元となった辞書の項目

cyclopentadienyl-propylcyclopentadienylruthenium

名詞
不可算名詞
日本語の意味
ルテニウムが挟まれたサンドイッチ型化合物。1つのシクロペンタジエニル基と、プロピル側鎖を持つもう1つのシクロペンタジエニル基により構成され、化学気相析出(CVD)に使用される。
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化学気相成長の前駆体である、シクロペンタジエニル基とプロピル置換シクロペンタジエニル基に挟まれたルテニウムのサンドイッチ化合物は、シリコンウエハ上に均一な薄膜を形成した。

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