最終更新日:2025/11/22
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元となった辞書の項目

microlithography

名詞
不可算名詞
日本語の意味
微小なデバイス(特に、光子や電子ビームを用いた半導体デバイス)の製造技術の一種。
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微細加工技術の進歩により、ますます複雑化する微小電気機械システムの大量生産が可能になった。

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