Trimethylgallium,（有機金属化合物で）とは - 英語 - 英語

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Trimethylgallium,

不可算名詞

(organic chemistry) The organometallic compound, (CH₃)₃Ga, used in vapour-phase epitaxy for the manufacture of semiconductors

日本語の意味

有機金属化合物で、化学式 (CH₃)₃Ga と表される。半導体製造に用いられる気相エピタキシー法（蒸着法）の原料として利用される。

During the MOCVD process, trimethylgallium is carefully handled to prevent contamination of the semiconductor wafer.

MOCVDプロセス中、トリメチルガリウムは半導体ウェーハの汚染を防ぐために慎重に取り扱われます。

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