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trimethylgallium

名詞
不可算名詞
日本語の意味
有機金属化合物で、化学式 (CH₃)₃Ga と表される。半導体製造に用いられる気相エピタキシー法(蒸着法)の原料として利用される。
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MOCVDプロセス中、トリメチルガリウムは半導体ウェーハの汚染を防ぐために慎重に取り扱われます。

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