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検索結果- 英語 - 多言語
検索内容:
TDMAGe
名詞
Tetrakis(dimethylamino)germanium, a metalorganic source for germanium nitride (GeN) in MOCVD of semiconductors. It grows GeN instead of Ge, and is used at either high temperatures (600-800 C) or with plasma because of its very low vapor pressure and higher decomposition temperature.
日本語の意味
テトラキス(ジメチルアミノ)ゲルマニウム。半導体のMOCVD（化学気相成長法）プロセスで、ゲルマニウム窒化物（GeN）の成長に用いられる金属有機化合物。通常、低蒸気圧かつ高い分解温度（600～800°Cまたはプラズマを使用）を持つため、ゲルマニウム自体の成長ではなく、GeNの成長を促進する。
選択した言語のデータがないため、英語で表示しています。
