tetraethylgermanium（テトラエチルゲルマニウムは）とは - 英語 - 英語

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tetraethylgermanium

不可算名詞

An organogermanium compound with the chemical formula (CH₃CH₂)₄Ge, used in vapour deposition of germanium.

日本語の意味

テトラエチルゲルマニウムは、有機ゲルマニウム化合物であり、化学式 (CH₃CH₂)₄Ge を持つ。ゲルマニウムの気相堆積（蒸着）に利用される。

During the MOCVD process, tetraethylgermanium served as a volatile germanium source for thin-film deposition.

MOCVDプロセス中、化学式（CH3CH2）4Geの有機ゲルマニウム化合物が薄膜堆積のための揮発性ゲルマニウム供給源として使われた。

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