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optical flat

optical flat

(optics) A disk of high-quality quartz glass having at least one side ground and polished with a deviation in flatness less than 50 nanometers all over, and a surface quality of 5 microfinish or less; used, in an interferometer, to measure the flatness of other surfaces.

日本語の意味

（光学計測用具として用いられる）高品質な石英ガラスの円盤で、少なくとも一面が研削・研磨され、全体の平面性のばらつきが50ナノメートル未満、表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下となっており、干渉計を用いて他の表面の平坦度を測定するために使用される。

このボタンはなに？

The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.

技術者は、ウエハの表面の凹凸を調べるために、少なくとも片面が研磨され、全体の平坦度の偏差が50ナノメートル未満で表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下の高品質な石英ガラスの円盤を干渉計のステージに置いた。

関連語

optical flats

（ plural ）

optical flats

活用形複数形

plural of optical flat

原形: optical flat

日本語の意味

「optical flat（光学平板または光学フラット）」の複数形、すなわち複数の光学平板を指す表現

このボタンはなに？

During the workshop, the technicians inspected several optical flats to ensure the interferometer readings were accurate.

ワークショップでは、技術者たちが干渉計の測定値が正確であることを確認するために、いくつかの光学平板を点検した。

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