最終更新日:2025/11/21
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元となった辞書の項目

silicon tetrafluoride

名詞
不可算名詞
日本語の意味
無機化学における、シリコンとフッ素からなる二元化合物(SiF₄)のこと。無色で有毒、鋭い臭いを持つガスで、シリコン半導体の製造などに利用される。
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四フッ化ケイ素(SiF4)は無色で有毒な気体であり半導体製造に使われるため、研究所では気密封止と厳格な安全対策が求められます。

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