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研究チームは、付着性と耐食性に最も優れたものを特定するために、複数のスパッタコーティングを比較した。
技術者はウエハを顕微鏡で検査して、スパッタリングで堆積したコーティングの均一性を確認した。
スパッタ法で蒸着されたセンサーは、繰り返しの熱サイクル後でも高い感度を保ちました。
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