最終更新日:2025/12/07
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元となった辞書の項目

sputterable

形容詞
比較不可
日本語の意味
スパッタリング堆積プロセスにおいて、材料として利用可能な性質を有する
このボタンはなに?

均一な薄膜堆積をウェーハ全体で確保するため、スパッタ成膜に適したターゲット材料を選定した。

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