最終更新日：2025/11/21

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(chemistry) a crystalline substance, XeF₂, used as a fluorinating agent and oxidizing agent in various surface modification processes, and as an etching agent in semiconductor production

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xenon difluoride

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元となった辞書の項目

xenon difluoride

名詞

(chemistry) a crystalline substance, XeF₂, used as a fluorinating agent and oxidizing agent in various surface modification processes, and as an etching agent in semiconductor production

日本語の意味

（化学）結晶性の物質で、化学式 XeF₂。各種表面改質プロセスにおいてフッ素化剤および酸化剤として、また半導体製造におけるエッチング剤として使用される。

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In the wafer fabrication lab, engineers used xenon difluoride to selectively etch silicon microstructures without damaging sensitive underlying layers.

Google翻訳 / DeepL翻訳

ウエハ加工の研究室で、技術者たちは基板の下層を損なうことなくシリコンの微細構造を選択的にエッチングするために二フッ化キセノン（XeF2）を使用した。

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意味（1）

(chemistry) a crystalline substance, XeF₂, used as a fluorinating agent and oxidizing agent in various surface modification processes, and as an etching agent in semiconductor production

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