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A technique, used in the production of thin films of ultra-pure semiconductors, that grows the film by condensation of evaporated atoms.
超高純度半導体の薄膜を作製するため、蒸発した原子が凝縮して成長するプロセスを利用する技術。 / 半導体製造において、分子または原子レベルのビームを用いて極めて純度の高い薄膜を形成する手法。
研究チームは、蒸発した原子を凝縮させて超高純度の半導体薄膜を成長させる技術である分子線エピタキシーを用いて、わずか数原子厚の半導体層を作製した。
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