最終更新日:2025/11/21
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元となった辞書の項目

secondary ion mass spectrometry

名詞
不可算名詞
日本語の意味
エネルギーの高いイオンビームを用いて、固体表面から原子や分子を飛び出させ、その飛び出した成分の質量を測定することで、固体の三次元構造を可視化する技術。
このボタンはなに?

半導体ウェハ内の微量元素の三次元分布を可視化するため、表面原子をエネルギーの高いイオンビームではぎ取りながら分析する二次イオン質量分析法を使用しました。

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