(physics) A technique used to visualize the three-dimensional structure of solids by employing an energetic ion beam to fragment the atomic or molecular constituents from a surface
secondary ion mass spectrometry
半導体ウェハ内の微量元素の三次元分布を可視化するため、表面原子をエネルギーの高いイオンビームではぎ取りながら分析する二次イオン質量分析法を使用しました。
アカウントを持っていませんか？ 新規登録
アカウントを持っていますか？ ログイン
DiQt（ディクト）
無料
★★★★★★★★★★
