Last Updated：2025/11/28
The micrometrical precision of the electron beam lithography system enabled the fabrication of patterns finer than a micrometer.
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The micrometrical precision of the electron beam lithography system enabled the fabrication of patterns finer than a micrometer.
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電子ビームリソグラフィー装置のマイクロメートル単位の精度により、1マイクロメートルより細かいパターンの作製が可能になった。
