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Last Updated：2025/11/20

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The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.

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The technician placed the optical flat on the interferometer stage to check for wafer surface irregularities.

技術者は、ウエハの表面の凹凸を調べるために、少なくとも片面が研磨され、全体の平坦度の偏差が50ナノメートル未満で表面仕上げが5マイクロフィニッシュ以下の高品質な石英ガラスの円盤を干渉計のステージに置いた。