Last Updated：2025/11/21
(inorganic chemistry) The binary compound of silicon and fluorine SiF₄, a colourless, poisonous gas with a pungent odour, used in the production of silicon semiconductors.
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silicon tetrafluoride
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Source Word
silicon tetrafluoride
Noun
uncountable
Japanese Meaning
無機化学における、シリコンとフッ素からなる二元化合物（SiF₄）のこと。無色で有毒、鋭い臭いを持つガスで、シリコン半導体の製造などに利用される。
